流量开关

UHP

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VEFS1 - 流量开关

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Product Features产品特点

流道设计无死角
真空压力至3500psig（241bar）
底部进气，垂直方向8°内安装

Parameter技术参数

气源压力
vacuum to 3500 psig
流量开关触发点
25/50/100 slpm (氮气 at 100 psig)
精度
±10%
工作温度
-10~175℉ (-23~80℃)
进/出气连接
1/4”焊接接管 / VFS接头
泄漏率
外部：2x10-10 sccs

Material Quality材质

母体
SS 316L VAR

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