精控流体 赋能“芯”未来丨VIGOUR 以自研“硬实力”筑牢半导体流体控制基石

3月27日，全球半导体行业的年度盛会SEMICON CHINA 2026正在上海新国际博览中心如火如荼地进行。在这场汇聚了全球顶尖智慧与前沿技术的盛宴中，国内超高纯流体控制领域的一线企业——VIGOUR皓固，以其精心打造的54平方米展台，向业界展示了其在半导体设备零部件领域的硬核实力与创新成果，成为全场瞩目的焦点。

步入VIGOUR皓固的展台，一系列“明星产品”整齐列阵，无声地诉说着公司在流体控制领域的深厚积淀。本次展会，VIGOUR不仅带来了其久负盛名的超高纯气体减压器系列，更重磅展示了为半导体产线量身打造的IGS（智能集成气体系统）、VMB/VMP系列气体分配模块以及GC高精度气体控制器等核心产品。

这些产品并非简单的硬件堆砌，而是VIGOUR针对半导体制造中气体输送的“纯净度”、“稳定性”与“精准度”三大核心痛点给出的系统性解决方案。IGS智能集成气体系统以其高度模组化的设计，实现了在极小空间内的稳定供气，大幅简化了现场安装与维护流程，为寸土寸金的晶圆厂提供了更优选择。而超高纯减压器与阀门则延续了VIGOUR一贯的卓越品质，其内腔经过电解抛光（EP）处理，表面粗糙度控制在Ra≤0.4μm，氦气检漏漏率低于1x10⁻⁹mbar l/s，完全满足半导体行业对气体纯度的严苛要求，从源头杜绝污染风险。

展会现场，来自国内外各大晶圆厂、设备集成商的专业技术团队纷至沓来，在展台前驻足、交流、探讨。他们对VIGOUR产品的精密制造工艺、针对特殊工艺气体的材料兼容性以及卓越的密封性能给予了高度评价。“VIGOUR的产品在性能上完全可以对标国际一线品牌，而且在本地化服务响应上更具优势。”一位来自国内头部芯片制造企业的工程师在现场体验后如是说。

VIGOUR皓固在展会上所展现出的自信，根植于其强大的自主研发与制造能力。与许多依赖代工或组装的品牌不同，VIGOUR始终坚持“研产销一体化”的发展道路。公司总部位于上海G60科创走廊，拥有面积达18000平方米的现代化厂办基地。从原材料入库到成品出厂，每一个环节都在自有工厂内完成，确保了产品质量的绝对可控与一致性。

VIGOUR组建了一支经验丰富的自主研发团队，他们深刻理解半导体、光伏、氢能等下游行业的工艺需求。凭借大量的自主产权专利，VIGOUR能够迅速将客户的痛点转化为创新的产品设计，实现从“跟随”到“并跑”乃至“领跑”的跨越。公司已通过欧盟CE(PED)、ISO9001、Rohs等多项国际权威认证，产品足迹遍布全球56个国家和地区，其品质早已获得国际市场的广泛认可。

在当前半导体产业国产化浪潮下，VIGOUR皓固的出现，为本土供应链的安全与稳定注入了强劲动力。公司不仅提供标准化的产品，更致力于为客户提供一站式智慧流体控制系统服务方案，包括气路改造、定制化设计等深度服务。

“我们坚信，用户的成功不仅仅来自产品本身，更在于产品与场景的深度契合。”VIGOUR相关负责人表示，“我们希望通过持续的技术创新，成为半导体产业链中值得信赖的战略合作伙伴，与所有行业同仁一道，共同推动中国半导体产业的高质量发展。”