超高纯吹扫阀组

UHP

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VDV48UB/UC 系列 - 超高纯吹扫阀组

超高纯吹扫阀组

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Product Features产品特点

更换气瓶时可保证气体纯度的持续
阀门操作简便（手动 / 气动可选）
工艺气体与大气隔绝
内部无死角
适用于超高纯气体

Parameter技术参数

最大工作压力
3000 psig
驱动工作压力
70~110 psig
表面光洁度
10μin. Ra
最大工作温度
40oF ~ 160oF (-40oC ~ 71oC)
内部泄漏率
<1x10-9 mbar I/s He
外部泄漏率
<1x10-9 mbar I/s He
流量参数
Cv=0.1

Material Quality材质

母体
316L/316L二次熔炼
膜片
Elgiloy®
密封件
PCTFE

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