VSR-610UC 系列

产品特点

• 单极式减压器
• 表面光洁度: 15μin. Ra Max，10μin. Ra Average

   (10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)
• 内部无死角
• 材质分别使用 SS 316L，Hastelloy C176 和 PCTFE制成
• 流量:100slpm
• 压力控制精确
• 硬密封结构
• 手轮控制压力，操作简单
• 100%氦气泄漏检测

技术参数

• 类型：单极式减压
• 进气压力 P1：最大 3500 psig
• 出气压力 P2：10/30/60/100 psig
• 表面光洁度：15μin. Ra Max，10μin. Ra Average (10μin. Ra Max，7μin. Ra Max，5μin. Ra Max 可选)
材质
• 母体：详见订购参数
• 阀座：PCTFE (Vespel® 可选)
• 膜片：Hastelloy® C276
• 进/出气连接：1/4” / 3/8” 1/2” VFS接头或焊接接管
• 阀盖端口：1/8” NPT (在面板安装选项上，阀盖端口不是螺纹连接的)
• 适用温度：-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)
• 泄漏率： (外部) 1x10^-9 mbar I/s He
                 (内部) 1x10^-8 mbar I/s He
• 流量参数：Cv=0.13
• 重量：约 1.54kg
• 供应压力影响：输出压力每100 psig 压降上升0.25 psig