VSR-510UC 系列

产品特点

•  单级式减压器
•  表面光洁度 15μin. Ra Max，10μin. Ra Average，

   (10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)
•  内部体积小，吹扫时间短
•  使用材质符合 F20 标准 
•  压力表与本体直接连接
•  流量: 30 slpm (标准), 120 slpm (可选)
•  压力控制精确
•  硬密封结构
•  手轮控制压力，操作简单
•  100%氦气泄漏检测
•  膜片阀芯一体式设计

技术参数

•  类型: 单级式减压
•  进气压力 P1: 最大 3500 psig
•  出气压力 P2: 10/30/60/100/150 psig
•  表面光洁度: 15μin. Ra Max，10μin. Ra Average，

   (10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)
材质
•  母体: 详见订购参数
•  阀座: PCTFE (Vespel® 可选)
•  膜片: Hastelloy® C276
•  进/出气连接: 1/4”3/8” VFS接头或焊接接管
•  阀盖端口: 1/8” NPT (在面板安装选项上，阀盖端口没有螺纹)

•  温度适用: -40oF to +160oF (-40oC to +71oC)
•  泄漏率: (外部) 1x10^-9 mbar I/s He    (内部) 1x10^-8 mbar I/s He
•  流量参数: Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)
•  重量: 约1.35kg
•  供压效应: Cv=0.09 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.35 psig

                   Cv=0.15 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.5 psig