产品特点
• 双级式减压器
• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)
• 内部体积小,吹扫时间短
• 使用材质符合 F20 标准
• 压力表与本体直接连接
• 流量: 30 slpm (标准), 120 slpm (可选)
• 压力控制精确
• 硬密封结构
• 手轮控制压力,操作简单
• 100%氦气泄漏检测
• 膜片阀芯一体式设计
技术参数
• 类型: 双级式减压
• 进气压力 P1: 最大 3500 psig
• 出气压力 P2: 30/60/100 psig
• 表面光洁度: 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)
材质
• 母体: 详见订购参数
• 阀座: PCTFE (Vespel® 可选)
• 膜片: Hastelloy® C276
• 进/出气连接: 1/4”3/8” VFS接头或焊接接管
• 阀盖端口: 1/8” NPT (在面板安装选项上,阀盖端口没有螺纹)
• 温度适用: -40oF to +160oF (-40oC to +71oC)
• 泄漏率: (外部) 1x10-9 mbar I/s He (内部) 1x10-8 mbar I/s He
• 流量参数: Cv=0.05
• 重量: approx. 1.35kg
• 供压效应: 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.05 psig