VGU 系列

产品特点

• 适用于超高压“清洁”半导体气体，符合SEMI/SEMATECH标准
• 使用氮气净化
• 螺纹连接上配备保护帽
• 100%工厂校准和氦气泄漏测试，最大速率为1 × 10- 9mbar I/s He

技术参数

• 类型：压力表
材质
• 端口连接：316L VAR，电抛光
• 弹簧管：316L SS
• 箱体：304 SS
• 镜片：聚碳酸酯
• 机件：不锈钢
• 指针：铝
• 刻度：psig/bar 双刻度
• 刻度盘大小：2”
• 精度：±2%
• 环境温度：-40℉ 至 140℉（-40℃ 至 60℃）