VDV32UB 系列

产品特点

• 适用于半导体制造设备和设施中超纯、易燃或有毒的流体管线
• 直通膜片结构,具有优越的密封性能,卓越的耐用性、紧凑性和无死角性能
• 阀门的开启和关闭位置一目了然
• 优异的气驱特性
• 极压处理是所有潮湿表面的标准
• 标准阀座材料为PCTFE,Ployimede / PFA 可选


技术参数

• 最大工作压力: 150 psig (10 bar)
• 气动操作压力: 58~87psig (4-6bar)
• 最大工作温度: -10oF ~ 150oF (-23oC ~ 65oC)
• 表面光洁度: 10μin. Ra
材质
• 母体: 详见订购参数
• 膜片: Elgiloy®
• 密封垫: PCTFE
• 手柄: AL
• 内部泄漏率: 1x10-9 mbar I/s He
• 外部泄漏率: 1x10-9 mbar I/s He
• 孔径: Ф4.4mm
• 重量: 约 0.27kg (不含驱动器)

 

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